Cellule robotisée pour automatisation de chargement de machines FSI Mercury
Automatisation de machines FSI Mercury
Précise, propre et complètement automatisée, découvrez la cellule robotisée FSI SmartCell qui permet d’automatiser le chargement de vos machines FSI Mercury en assurant :
- la manipulation des cassettes de wafers de semi-conducteurs,
- l’équilibrage des plateaux de lavage grâce à la manipulation des wafers plaque à plaque,
- la gestion des recettes de nettoyage,
Grâce à ce manipulateur unique vous pourrez :
- optimiser le débit de la ligne,
- diminuer la pénibilité des tâches opérateurs,
- assurer les exigences élevées en matière de traçabilité.
Réalisation :
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