Robot mobile pour manipulation de wafers

Manipulation de pods / foups pour le secteur des semiconducteurs

C’est un robot automatisé pour le transport de foups et pods de wafers pour l’industrie des semiconducteurs. Il est indispensable dans les zones où les systèmes OHT (Overhead Hoist Transport) ne peuvent pas être intégrés. Il permet d’améliorer l’efficacité des transports automatisés (AMHS).

Réalisation :

Le MaMo est totalement intégrable aux standards de communications dans les lignes de production : SECS/GEM/E84.

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